Update Feb 20 / 2016突然得到很多人的支持,我想着就把这个答案再完善一下吧~我看到有人把尖,硬度还有刺入的深度都联系起来了,其实这几个概念,随着尺寸的减小越来越分道扬镳。宏观上,我们认为尖的东西就是那种扎一下就刺进去了。当一个尖锐的物体刺入另一个尖锐的物体时,有好几种情况。 第一种就是塑性变形,也是宏观上最常见的,这是由于尖锐的东西会对目标在尖端产生应力集中,所以施加很小的力就可以达到塑性变形的条件,或者达到临界应力,目标体内的裂纹发生扩展,表现出的刺入。然后这个时候的刺入对于尖锐物体是有硬度的要求的,然后硬度的要求也就决定了这种尖锐的程度。继续往尖锐的程度发展就代表着尖端物体原子数目的减少,原子数目的减少势必会影响硬度,然后需要注意的是,这时候的刺入不需要变形或是裂纹扩展了,因为它的尖锐可以比目标内的裂纹尺度还小,所以可以直接发生刺入。Update Dec 10 /2015感谢各位的支持, 最近比较紧,所以现在才更新~关于AFM针尖的制作,说来其实并不复杂,先上一个流程图首先当然是在硅基底上面长一层二氧化硅,然后用BHF和相应的MASK把想要做成针尖的区域给定下来,之后用RIE刻蚀掉二氧化硅下面的Si, 由于是各项同性的刻蚀,所以离二氧化硅近的区域就会刻蚀的比较严重,所以就会在尖端形成很尖的尖端。整套制作流程的关键是就etching参数的选择. [1]---
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